3月2日晚间,和远气体(002971)发布公告,公司计划投资6.84亿元扩建宜昌电子特气及功能性材料产业园的4500吨/年电子级三氟化氮项目。该项目为公司在宜昌电子特气及功能性材料产业园项目(以下简称“宜昌产业园项目”)基础上扩建的项目。项目不构成重大资产重组,不涉及关联交易,已在公司董事会审议通过。

在此之前,和远气体已在宜昌高新技术产业开发区投资建设宜昌产业园项目,同时投资成立了控股子公司湖北和远新材料有限公司(以下简称“和远新材料”)作为实施主体。
公告显示,宜昌产业园项目占地880亩,分两期建设,规划的主要产品为“电子级三氟化氮、六氟化钨、三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等电子特气,以及氨基、乙烯基、环氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料”等产品。截至公告披露日,上述所规划的产品正在分批试生产,预计今年将逐步达到“投产—稳产”的目标。
而和远气体本次扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目,是在宜昌产业园项目建设基础上扩建的项目。电子级三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,具有良好的蚀刻速率和选择性。本次投资扩建项目是公司根据市场行情并结合公司实际情况审慎决策的,投资总预算6.84亿元,分两期建设,建设期三年,资金来源为控股子公司和远新材料自筹,公司董事会授权和远新材料负责组织项目实施。
具体来看,本次扩建项目的建设内容包括扩建4500t/a电子级三氟化氮生产装置、存储和充装系统以及配套设施等。分两期建设,其中一期扩建3000t/a三氟化氮装置、储存和充装系统,以及配电室机柜间、污水处理等配套设施;二期扩建1500t/a三氟化氮装置(与现有500t/a三氟化氨装置一起,总产能200Ot/a)。
